三葉羅茨真空泵工藝原理分析
一、核心結構設計
1、三葉轉子構型
泵體內配置一對180°對稱分布的三葉漸開線型轉子，葉峰與葉谷輪廓經精密加工形成動態密封腔室。通過齒輪傳動實現反向同步旋轉，轉子與泵殼間保持0.1-0.8mm的非接觸間隙。
2、等容壓縮機制
轉子旋轉周期中，吸氣腔容積增大形成負壓吸入氣體，排氣腔容積縮小完成氣體壓縮與排出。此過程依賴轉子型線對腔室容積的精確控制，實現氣體定向輸送。
二、氣體輸送流程
1、吸氣階段
轉子旋轉至進氣口區域時，腔室容積擴張，氣體被吸入泵腔內部。
2、壓縮階段
氣體隨轉子運動被封閉在動態腔室內，因腔室容積逐漸減小產生等容壓縮效應，但無傳統往復式壓縮機的內壓縮過程。
3、排氣階段
轉子葉峰掠過排氣口時，壓縮氣體被推送至排氣端，同時排氣側高壓氣體部分反沖至封閉腔室，導致瞬時壓力升高后排出系統。
三、工藝特性
1、三葉型線優勢
相較兩葉結構，三葉轉子每轉完成三次吞吐循環，有效降低壓力脈動幅度達30%以上，顯著減少運行振動與噪聲。
2、無油潤滑工藝
轉子間及轉子-泵殼間隙通過精密數控加工保證，無需潤滑油介入，適用于潔凈度要求高的制藥、電子行業。
3、材料與加工工藝
轉子采用高強度合金鋼經五軸聯動數控機床成型，表面硬化處理(如滲氮工藝)提升耐磨性，型線誤差控制在±5μm以內。
四、輔助系統需求
需配置油封真空泵、水環泵等前級設備形成真空機組，以克服自身低壓縮比缺陷(通常壓縮比≤10)，實現10?¹~10³ Pa的中真空范圍。
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